- 029-86354885
- 18392009562
二氧化硅薄膜一種無定形玻璃 狀結構的電解質膜,具有良好的硬度、光學、介電性質及耐磨、抗蝕等特性,在光學、微電子等領域有著廣泛的應用前景,是目前國際上廣泛關注的功能材料。
二氧化硅薄膜的制備方法有5種:
1.化學氣相淀積法
化學氣相淀積是利用化學反應的方式,在反應室內,將反應物(通常是氣體)生成固態(tài)生成物,并淀積在硅片表面是的一種薄膜淀積技術。因為它涉及化學反應,所以又稱CVD。
2.物理氣相淀積
物理氣相沉積主要分為蒸發(fā)鍍膜、離子鍍膜和濺射鍍膜三大類。其中真空蒸發(fā)鍍膜技術出現較早,但此法沉積的膜與基體的結合力不強。
3.熱氧化法
熱氧化法又分為干氧氧化、濕氧氧化、水汽氧化3種。
4.溶膠凝膠法
溶膠凝膠法是一種低溫合成材料的方法,硅酸乙酯在酸性條件下水解可以得到“玻璃狀透明的”SiO2材料,在黏性的凝膠中可制備出纖維及光學透鏡片。這種方法的制作費用低、鍍膜簡單、便于大面積采用、且光學性能好,適用于立體器件。通常,多孔SiO2薄膜的特性依賴溶膠凝膠的制備條件、控制實驗條件(如溶膠組分、pH值、老化溫度及時間、回流等),可獲得折射率在1.009~1.440、連續(xù)可調、結構可控的SiO2納米網絡。
5.液相沉積法
在化學沉積法中.使用溶液的濕化學法因需要能量較小,對環(huán)境影響較小,被稱為sof t2p rocess柔性過程)。近年來在濕化學法中發(fā)展起一種液相沉積法(LPD),SiO2薄膜是用LPD法最早制備成功的氧化物薄膜。通常使用H2SiF6的水溶液為反應液,在溶液中溶入過飽和的Sio 2(以SiO 2、硅膠或硅酸的形式),溶液中的反應為:H2SiF6+ 2H2o SiO 2+6HF。目前可在相當低的溫度(~40°C)成功地在GaA s基底上生長SiO 2薄膜,其折射率約為1.423。PLD成膜過程不需熱處理,不需昂貴的設備,操作簡單,可以在形狀復雜的基片上制膜,使用廣泛。
SiO2具有硬度高、耐磨性好、絕熱性好、光透過率高、抗侵蝕能力強以及良好的介電性質。通過對各種制備方法、制備工藝的開發(fā)和不同組分配比對二氧化硅薄膜的影響研究,制備具有優(yōu)良性能的透明二氧化硅薄膜的工作已經取得了很大進展。薄膜在諸多領域得到了很好的應用,如用于電子器件和集成器件、光學薄膜器件等相關器件中。利用納米二氧化硅的多孔性質可應用于過濾薄膜、薄膜反應和相關的吸收劑以及分離技術、分子工程和生物工程等,從而在光催化、微電子和透明絕熱等領域具有很好的應用前景。
SiO2/Au中孔復合微球納米金催化劑
5CeNi/m-SiO2催化劑
Ag-SiO2復合納米顆粒薄膜
Al2O3-SiO2-ZrO2復合薄膜
CaO-SiO2-PAA復合膜材料
CO-NH-SiO2鈦基多孔薄膜
DMDES-SiO2二甲基二乙氧基硅烷多孔改性薄膜
EP-SiO2復合薄膜
Eu-Al-sio2納米多孔發(fā)光薄膜
Fe-SiO2固體酸催化劑
Ge-SiO2鍺摻雜的微孔薄膜
HMDS-SiO2六甲基二硅氮烷多孔改性薄膜
LiCl/SiO2多孔薄膜
LPCvD-TEOS-SiO2薄膜
MoO3/SiO2催化劑
ni-sf-sic催化劑
Pd/SiO2-BT負載型納米催化劑
PI-SiO2摻雜聚酰亞胺的納米多孔薄膜
P-TiO2-SiO2 多孔催化劑
sio2/tio2-xcx/c多孔可見光響應型光催化劑
SiO2@FcCOCH32薄膜
SiO2-CaO多孔復合薄膜
SiO2-PEI薄膜
SiO2修飾的ZnO納米多孔薄膜
Si-SiO2硅基多孔薄膜
TEOS-SiO2薄層
TiO2-SiO2-HAP活性薄膜
TMCS-SiO2三甲基氯硅烷修飾納米多孔改性薄膜
V2O5-K2SO4/A12O3-SiO2纖維復合催化劑
V2O5-WO3/TiO2-SiO2催化劑
ZnCl2-Si02固體酸催化劑
Zn—SiO2/TiO2多孔復合薄膜
Zn-SiO2/TiO2鋅摻雜多孔復合薄膜
光催化超親水性TiO2-SiO2薄膜
硅基多孔納米β-SiC薄膜
納米多孔材料-聚硅氧烷復合膜
序號 | 新聞標題 | 瀏覽次數 | 作者 | 發(fā)布時間 |
---|---|---|---|---|
1 | 瑞禧定制-功能化1,2,4,5-四嗪Cis-[Pt-1,3-Propanediamine]-2-Me-Tetrazine/IC-MethylTetrazine | 618 | 瑞禧生物 | 2022-11-09 |
2 | 科研-四嗪Py-Tetrazine-PEG1-Alkyne/Py-PEG1-Alkyne/Pyrimidine-Tetrazine-PEG1-Alkyne | 629 | 瑞禧生物 | 2022-11-09 |
3 | 胺基與NHS活性酯反應PEG之Azido-PEG7-amine/1333154-77-0瑞禧生物 | 1297 | 瑞禧生物 | 2023-01-03 |
4 | 瑞禧2023更新 Azido-PEG8-acid疊氮八聚乙二醇羧酸 | 549 | 瑞禧生物 | 2023-01-03 |
5 | 嵌段共聚物4 arm-PEG-TK-NH2 /NHS/MAL | 625 | 瑞禧生物 | 2022-12-08 |
6 | 活性氧敏感聚合物TK-PPE 酮縮硫醇-聚磷酸酯 PPE-TK | 674 | 瑞禧生物 | 2022-12-08 |
7 | 功能化腙鍵響應性磷脂 DSPE-Hyd-PEG-Alkyne/CHO/cRGD 醛基/多肽 | 674 | 瑞禧生物 | 2022-12-08 |